Forschung

Institut für Halbleitertechnik

Was sind unsere Forschungsfelder?

 

Die "A-MBE" Molekularstrahepitaxie-Anlage im IHT-Reinraum

Ziel der Forschung am IHT...

ist die Optimierung von bestehenden und die Erforschung neuartiger Bauelementkonzepte für modernste Logik-, Speicher- und leistungselektronischen Anwendungen auf Grundlage der neuesten quantenelektronischen Erkenntnisse.

Dabei stellt die siliziumbasierte Kristallzucht mittels Molekularstrahlepitaxie (MBE, engl. Molecular Beam Epitaxy) des Komeptenzfeldes Gruppe-IV-Heteroepitaxie das Rückgrat der Bauelementforschung dar.

Blick in den Nasschemie-Bereich

In Kombination mit einer etablierten CMOS-kompatiblen Reinraumtechnologielinie und einer vielfältigen Analytik konzentriert sich die Bauelementforschung am Institut auf den Übergang von der heutigen Mikro- bzw. Nanoelektronik hinzu einer zukünftigen Quantenelektronik.

Übersicht über die Kompetenzfelder des IHT
Übersicht über die Kompetenzfelder des IHT

Ihre Ansprechpartner

Dieses Bild zeigt Michael Oehme

Michael Oehme

Dr.

Akademischer Oberrat
Stellvertretende Institutsleitung

Dieses Bild zeigt Daniel Schwarz

Daniel Schwarz

Dr.

Postdoktorand

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