Institut für Halbleitertechnik

Forschung

Was sind unsere Forschungsfelder?

 

Die "A-MBE" Molekularstrahepitaxie-Anlage im IHT-Reinraum

Ziel der Forschung am IHT...

ist die Optimierung von bestehenden und die Erforschung neuartiger Bauelementkonzepte für modernste Logik-, Speicher- und leistungselektronischen Anwendungen auf Grundlage der neuesten quantenelektronischen Erkenntnisse.

Dabei stellt die siliziumbasierte Kristallzucht mittels Molekularstrahlepitaxie (MBE, engl. Molecular Beam Epitaxy) des Komeptenzfeldes Gruppe-IV-Heteroepitaxie das Rückgrat der Bauelementforschung dar.

Blick in den Nasschemie-Bereich

In Kombination mit einer etablierten CMOS-kompatiblen Reinraumtechnologielinie und einer vielfältigen Analytik konzentriert sich die Bauelementforschung am Institut auf den Übergang von der heutigen Mikro- bzw. Nanoelektronik hinzu einer zukünftigen Quantenelektronik.

Übersicht über die Kompetenzfelder des IHT
Übersicht über die Kompetenzfelder des IHT

Ihre Ansprechpartner

Dieses Bild zeigt Michael Oehme
Dr.

Michael Oehme

Akademischer Oberrat / Stellvertretende Institutsleitung

Dieses Bild zeigt Daniel Schwarz, M.Sc.
 

Daniel Schwarz, M.Sc.

Wissenschaftlicher Mitarbeiter

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