Institut für Halbleitertechnik

Forschung

Was erforscht das IHT?

 

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Die "A-MBE" Molekularstrahepitaxie-Anlage im IHT-Reinraum

Ziel der Forschung am IHT...

ist die Optimierung von bestehenden und die Erforschung neuartiger Bauelementkonzepte - für modernste Logik-, Speicher- und leistungselektronischen Anwendungen - auf Grundlage der neuesten quantenelektronischen Erkenntnisse.

Dabei stellt die siliziumbasierte Kristallzucht mittels Molekularstrahlepitaxie (MBE, engl. Molecular Beam Epitaxy) des Komeptenzfeldes Gruppe-IV-Heteroepitaxie das Rückgrat der Bauelementforschung dar.

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Blick in den Nasschemie-Bereich

In Kombination mit einer etablierten CMOS-kompatiblen Reinraumtechnologielinie und einer vielfältigen Analytik konzentriert sich die Bauelementforschung am Institut auf den Übergang von der heutigen Mikro- bzw. Nanoelektronik hinzu einer zukünftigen Quantenelektronik.

Übersicht über die Kompetenzfelder des IHT (c)
Übersicht über die Kompetenzfelder des IHT

Ihre Ansprechpartner

Prof. Dr. habil.

Jörg Schulze

Direktor