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Institut für Halbleitertechnik |
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Teamarbeit im 4. Semester |
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Teamarbeit im Sommersemester 2012 |
Entwicklung, Aufbau und Charakterisierung einer MOS-Kapazität
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Die prominentesten Beispiele für die Anwendungen von MOS-Kapazitäten sind der MOSFET,
der EEPROM und nicht zuletzt das CCD.
Diese Technologien sind entscheidend für die Entwicklung einer elektronischen Logik wie auf Computerprozessoren,
der Funktion von Flash-Speichern z.B. in USB-Sticks und die Erzeugung eines Bildes mit einer Digitalkamera.
Das IHT bietet in diesem Zusammenhang ein Praktikum an,
in dem die MOS-Kapazität als Grundbaustein aller oben genannten Halbleiterbauelemente
von den Praktikanten hergestellt werden kann.
Aufgaben und Ziel des Versuches:
Die Teams können sich alle Technologien des Reinraums am IHT zu Nutze machen
um die bestmögliche MOS-Kapazität herzustellen.
Die erste Aufgabe der Teams ist es die benötigten Technologien für die Herstellung zu recherchieren
und einen Projektplan entwickeln. Die Umsetzung des Projektplanes im Reinraum und das Erlernen der
relevanten Prozesse erfolgt an den nachfolgenden Terminen.
Das Messtechnik-Labor bietet den Teams die Möglichkeit die Qualität der MOS-Kapazität zu bestimmen und zu vergleichen.
Zum Abschluss sollen die Ergebnisse der Messungen im Rahmen eines Vortrages präsentiert werden.
Termine:
Der erste Termin findet in der ersten oder zweiten Semesterwoche statt und wird noch bekannt gegeben.
Ausgabe der Aufgabenstellung
Absprechen von Folgeterminen
Teilnehmerzahl:
Die Teilnehmerzahl ist auf insgesamt 8 beschränkt.
Die Teilnehmer werden in zwei Teams eingeteilt.
online-Anmeldung:
Link zur ILIAS Plattform (Anmeldung ist erforderlich)
Ansprechpartner:
Heike Isemann
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