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Institut für Halbleitertechnik |
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Ziele & Aufgaben |
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Die Halbleitertechnik ermöglicht die Herstellung von elektronischen und
optoelektronischen Bauelementen (Dioden,Transistoren) und deren Integration zu
integrierten Schaltkreisen (IC integrated circuit).
Das IHT bearbeitet in Lehre und Forschung die Grundlagen und Materialien der
Halbleitertechnik, die Funktion und modeme Entwicklungsrichtungen von
elektronischen Bauelementen, die auf lateraler und vertikaler Strukturierung
beruhende Planartechnologie der Herstellung von Halbleiter- Bauelementen und -Schaltungen,
sowie die potentiellen Wege beim Übergang von der heutigen Mikroelektronik zur
zukünftigen Nanoelektronik. Mit Vorlesungen, Übungen, Praktika, Studien- und
Diplomarbeiten wird den Studierenden ein Lehrspektrum angeboten, welches vom
Erwerb der Grundlagenkenntnisse in der Halbleitertechnik bis zum
praxisorientierten Vertiefen in aktuelle Forschungsrichtungen der
Materialsynthese (Molekularstrahl- Epitaxie) und Bauelementstrukturen (Heterostruktur-Bauelemente,
integrierte Mikrosysteme) reicht. |
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Die Forschungsarbeiten des Instituts konzentrieren sich auf den Übergang von der
heutigen Mikroelektronik zur zukünftigen Nanoelektronik mit neuartigen
Herstellungsverfahren (Molekularstrahlepitaxie MBE, Bild) und
Produktionstechniken (Selbstorganisation), Ausnützung von Quanteneffekten in
entsprechend dimensionierten Bauelementen und lntegration zu
Demonstrationsschaltungen für mm-Wellen und Infrarot-Anwendungen.
Eine Molekularstrahlepitaxie-Anlage für die Schichtherstellung von
Silizium-Germanium-Heterostrukturbauelementen auf Si-Substrat wurde entworfen
und aufgebaut. Die Prozesse für die Realisierung von Bauelementen und
integrierten Schaltkreisen aus derartigen Heterostrukturen werden in einem neu
konzipierten Forschungs-Reinraum durchgeführt.
Die Vorhaben werden überwiegend in Zusammenarbeit mit Institutionen und
lndustriepartnern realisiert.
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