Geschichte

Das Institut für Halbleitertechnik ist aus dem ehemaligen
Institut für Höchstfrequenztechnik unter Leitung von
Prof. Dr.-Ing. habil. Joachim Dosse hervorgegangen.
Mit seinen Arbeiten und Vorlesungen zum Transistor hat
er den Grundstein für die Halbleitertechnik an der
damaligen Technischen Hochschule und heutigen Universität
Stuttgart gelegt. Folgerichtig wurde zum Wintersemester
1967/68 das Institut für Höchstfrequenztechnik in Institut
für Halbleitertechnik umbenannt. Von 1978 bis 1993 wurde
das Institut von Prof. Dr. phil. nat. Waldemar von Münch
geleitet. In dieser Zeit lag der Arbeitsschwerpunkt zunächst
auf III-V Bauelementen, später auf der Entwicklung von
Si-Sensoren und Aktoren. Mit der Übernahme des Instituts
durch Professor Dr. phil. Erich Kasper im Herbst 1993
wechselte der Arbeitsschwerpunkt hin zur Entwicklung und
Fertigung von SiGe-Höchstfrequenz-bauelementen.
1997/98 konnte das Institut von der Breitscheidstrasse in
den Neubau der Elektrotechnischen Institute II auf den
Universitätscampus nach Vaihingen umziehen und erhielt
dort einen modernen Reinraum mit einer Laborlinie für
SiGe-Höchstfrequenzbauelemente.