Study Thesis

	Optimierung des internen Signalweges von Germanium-Fotodetektoren
	Optimierung des RIE-Ätzprozesses für Silizium, Silizium-Germanium und Siliziumdioxid
	Entwicklung eines CMP-Prozesses für vertikale Tunneltransistoren

Diploma Thesis

	Herstellung und Charakterisierung heteroepitaktischer Germanium-Zinn-Kristalle für neuartige optische Detektoren und LEDs
	Selbstorganisiertes Wachstum von Sub-20 nm-Germanium-Quantenpunkten auf vorstrukturierten Silizium-Substraten
	Herstellung und Charakterisierung vertikaler Tunneltransistoren